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Artigo Revisado por pares
BIBTEX RIS

高アスペクト比MEMSデバイス製造のためのSF 6 ,BCl 3 およびArベースの処方を用いるモリブデンエッチング

2013; IOP Publishing; Volume: 23; Issue: 7 Linguagem: Japonês

ISSN

1361-6439

Autores

Jaishri Sharma, Siri Fernando, Wanling Deng, Narinder Singh, Tan W M,

Referência(s)