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Capítulo de livro Revisado por pares
BIBTEX RIS

Marangoni Dryer Integrated High Performance Cleaner for Cu/Low k Post Strip Clean for 45nm Technology Node and Beyond

2007; Scientific.net; Linguagem: Inglês

10.4028/3-908451-46-9.337

ISSN

1662-9787

Autores

Jianshe Tang, Wei Lü, Bo Xi, Eli Martinez, Fred Li, Alex C.‐T. Ko, Craig C. Todd, John T.C. Lee,

Tópico(s)

Aluminum Alloy Microstructure Properties

Referência(s)