A new formulation of laser step-diagonal measurement—two-dimensional case
2008; Elsevier BV; Volume: 33; Issue: 1 Linguagem: Inglês
10.1016/j.precisioneng.2008.03.007
ISSN1873-2372
AutoresSoichi Ibaraki, Takafumi Hata, Atsushi Matsubara,
Tópico(s)Surface Roughness and Optical Measurements
Referência(s)