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Artigo Revisado por pares
BIBTEX RIS

Micromechanical Photonics

1997; Springer Science+Business Media; Volume: 4; Issue: 6 Linguagem: Inglês

10.1007/s10043-997-0623-y

ISSN

1349-9432

Autores

Hiroo Ukita,

Tópico(s)

Advanced MEMS and NEMS Technologies

Referência(s)
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