Soft removal of stearic acid self-assembled monolayer for area-selective atomic layer deposition
2023; Elsevier BV; Volume: 41; Linguagem: Inglês
10.1016/j.surfin.2023.103298
ISSN2468-0230
AutoresL. E. López-González, J. Guerrero-Sánchez, Hugo Tiznado,
Tópico(s)Catalytic Processes in Materials Science
Referência(s)