Artigo
Acesso aberto
Revisado por pares
Industrial data-driven machine learning soft sensing for optimal operation of etching tools
2024; Elsevier BV; Volume: 13; Linguagem: Inglês
10.1016/j.dche.2024.100195
ISSN2772-5081
AutoresFeiyang Ou, Henrik Wang, Chao Zhang, Matthew Tom, Sthitie Bom, J. F. Davis, Panagiotis D. Christofides,
Tópico(s)Advanced Control Systems Optimization
Referência(s)